二手 CANON FPA 2500 i3 #293809116 待售
网址复制成功！
单击可缩放
CANON FPA 2500 i3晶片步进器是一种高性能、高分辨率的光刻机，用于在0.25微米工艺节点生产小型半导体器件和元件。它具有先进的大视野步进器，利用i线光学器件以高精度和精确度在基板表面上生成图样。CANON FPA-2500I3具有9,500个步进像素,并具有主动对齐功能,可根据需要改进NA（数字孔径）。这允许从晶圆到晶圆以及从批到批的精确、可重复的模式放置和迭加。它配备了1：1的投影镜头，允许生成均匀分布的图桉而无需艺术品。此外,i3步进器包含10倍级,非常适合大型晶片。FPA-2500 I3晶片步进器设计用于处理从4英寸到12英寸的各种基材。它配备了先进的成像设备，为不同的曝光提供最佳分辨率。此外，步进器还包括一个气刷模块，用于在暴露前对基板进行整体烘烤和脱气。FPA-2500 I 3能够以每小时500晶片的速度运行,吞吐量高达每小时75晶片。FPA 2500 I 3晶圆步进器具有多区域温度控制系统，为曝光环境增加了均匀性，确保了高精度和吞吐量。此外，步进器还包括一个低失真的抗振动单元，可减少基板中的热失真。它还包括一个ActiveClean机器，以减少静电，从而确保在制图过程中的均匀性和准确性。CANON FPA-2500 I3晶圆步进器配备了用户友好的操作工具，提供高效直观的操作。此外,该资产还附带一个专门的软件套件,可帮助减少与测试和验证新基板相关的时间和成本。CANON FPA-2500 I3电源经过优化,以实现可靠、一致的运行,降低了设置过程的复杂性。步进器带有内置防腐机构和防尘设计，以提高可靠性和降低维护成本。
还没有评论