二手 CANON FPA 2500 i3 #9164887 待售

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ID: 9164887
晶圆大小: 4"
Stepper, 4" Reticle, 5".
CANON FPA 2500 i3是用于半导体器件制造的先进晶圆步进器。该设备采用最先进的阻抗处理和成像技术,为多层菲涅耳带板(FZP)和阵列电路提供精确对准和光刻技术。除了超精细的映像保真度外,系统还提供快速的数据吞吐量、高吞吐量、高精度和低本机消耗。佳能FPA-2500I3采用全尺寸8英寸晶片加载能力,并配有增强的光学单元,以提高分辨率和对比度。该机具有高精度的高精度XY级,用于晶片的精确对准。此外,板载运动稳定工具可消除振动,改善曝光过程中的图像质量。FPA-2500 I3与传统的多层FZP和更先进的阵列电路兼容。它具有先进的光学和光刻技术,提供高分辨率的打印小几何形状。该资产还为超高速设备制造提供了快速吞吐率和高速曝光。板载抵抗技术提供高对比度、低温和速干工艺。内置的光刻光学和平板波技术优化了集成阵列电路的光学,提供了精确的成像,提高了精度和吞吐量。该模型还提供了广泛的计量工具,用于测量设备和光刻对齐方式。该设备还与一整套软件工具集成在一起,提供离线数据分析和协助。CANON FPA 2500 I 3是高精度、高吞吐量和顶级晶圆步进解决方桉的理想选择。该系统采用先进的光学、光刻技术和抗加工技术,提供业界领先的性能,并提供各种半导体器件的精确成像和光刻技术。
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