二手 CANON FPA 2500 i3 #9229104 待售

CANON FPA 2500 i3是一种高精度晶圆步进器，用于微加工工艺。它是一种步进器，可以比传统的基于电子束的扫描系统更小、更快地成像。佳能FPA-2500I3能够在200纳米的精确对准下预先对准曝光。设备采用0.48 NA照明系统，工作距离151毫米长。全视野为100毫米，全格式为2576毫米正方形。FPA-2500 I3具有半主动对准功能,可实现35mm透镜分辨率。步进器本身是具有全自动对准单元的多场晶圆步进器。步进器结合了照明和光学机器，设计成在整个领域提供极其精确的对准。它有两种折射成像模式，分别是NAI（正常区域照明）和EI（扩展区域照明）。NAI模式用于现场分辨率，EI模式用于实现高对比度分辨率。CANON FPA 2500 I 3步进器具有先进的自动化工具和大型环境室。这样可以使重量完全稳定，即使在长时间的操作之后也是如此。自动化资产允许准确性和可重复性，这允许步进器在多个邮票上保持其准确性。FPA 2500 i3具有广泛的曝光时间,允许进行广泛的过程控制。它还提供了一系列扫描模式，如多级曝光、同时曝光和阶梯式曝光。这允许与各种基材兼容。在成像精度方面，FPA-2500I3具有60纳米特征配准精度。为了进一步保持图像精度，步进器配备了两微米法则，加上基于面积的自动对焦校正。这样可确保提高曝光精度和对准精度的稳定性。步进器还配备了高曝光显示器型号。这种设备使用户能够测量和监测暴露时间数据，还可以利用酿酒孔。此监控系统还允许自定义和可扩展的列控制。这样可以更好地控制作业执行。总体而言，FPA 2500 I 3是一种先进的晶圆步进器，设计用于极其精确的微加工工艺。它具有广泛的自动化功能,专为高精度成像而构建。它配备了确保精确成像以及扩展能力和过程控制的功能。