二手 CANON FPA 2500 i3 #9394903 待售

CANON FPA 2500 i3
ID: 9394903
晶圆大小: 6"
Wafer stepper, 6".
CANON FPA 2500 i3是一种先进的晶圆步进器,提供可选择的分辨率,从0.10 μ m到2.00 μ m不等。它旨在提供高模型精度和可重复性,从而能够生产高质量的模具。佳能FPA-2500I3具有200 mm晶片级,具有高速X-Y级和集成晶片映射伺服,确保晶片在任何所需位置快速对准和定位。先进的光学平面卡盘,加上近距离扫描设备,有助于确保对准和定位的准确性。它还配备了橡胶晶片输送系统,以快速准确地加载、运输和卸载晶片。FPA-2500 I3最大照明功率为350mUV,最大磁场大小为18 x 18mm。它还配备了635nm激光束单元,具有卓越的光通量和改进的图样性能。使用高功率激光束可以保证更高的质量和精度,同时减少其总曝光时间。在光学对准方面,FPA 2500 i3具有精密准直器和扫描透镜,以及光学像差校正系统。它还拥有一个双折射透镜机,这有助于减少像差和提高整体光学性能。最后,CANON FPA-2500 I3旨在满足经济高效、高质量的模具生产的严格实际性能要求。它针对无快门、连续重复曝光进行了优化,晶圆加热和冷却系统的结合确保了模具外形的一致性和通量的均匀性。FPA-2500I3是一种可靠且先进的晶圆步进器,可用于始终如一地生产高质量的模具。其精确对准和光学平坦卡盘,加上强大的激光束工具,确保精度和提高晶圆吞吐量。此外,增加无快门连续曝光和温度控制系统可确保模具轮廓的均匀性和一致性,从而提高效率和成本效益。
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