二手 CANON FPA 3000 EX3 #9077395 待售

CANON FPA 3000 EX3晶片步进器是一种最先进的光刻设备，设计用于快速、精确地在晶片上产生集成电路。它利用高分辨率光学成像系统与先进的晶圆级相结合，产生模具级精度。该装置具有先进的干玻璃管成像柱、大的12英寸工作区和可调节的台阶和重复循环时间。FPA 3000 EX3能够支持多种范围的标线和晶圆尺寸,最大可达180毫米。步进器利用先进的晶片级，以极高的精度、重复性和均匀性支持高达200 mm的晶片。该级包括三个线性驱动器和一个旋转驱动系统,以实现平稳、精确的定位和扫描。舞台具有可调的加速和减速轮廓，允许高速曝光应用。成像机采用先进的自动准直技术进行精确聚焦。这使CANON FPA 3000 EX3能够产生线宽失真极低的高分辨率图像。自动准直工具还提供可变聚焦速度和可重复性。成像资产与高速扫描驱动器配合使用,可实现最高200 mm/s的步进和重复扫描速度。该模型包括一个自动的标线对准能力，最大限度地减少了对手动晶片定位的需求。对齐设备允许在各种对齐偏移处多次曝光，而无需在舞台上重新定位晶片。它还有一个板载晶圆映射系统，可以进行迭加测量和校正。FPA 3000 EX3拥有众多智能特性和功能,非常适合半导体应用。它提供高吞吐量、同时多通能力、高产品产量、集成缺陷检测和可定制的成像解决方桉。该单元是生产LED、MEMS、RF IC等先进半导体产品的理想选择。它在制造环境中提供卓越的最终产品性能、增强的工程能力和无缝集成。