二手 CANON FPA 3000 EX4 #136890 待售

CANON FPA 3000 EX4是一种全场投影对齐器（FFPA），提供各种光掩模和基板的精确对齐。这种晶片步进器是高精度光掩模和基板制造过程中必不可少的工具。该设备具有一系列令人印象深刻的特点，使其成为广泛应用于光掩模、晶圆和光学/MEMS制造的宝贵工具。佳能FPA-3000EX4的主要优点是能够将光掩模和基板精确对准纳米精度。它配备了二维、非接触式图像感应系统，确保光掩模和基板的照明均匀、对准精确。这种精确的对齐方式允许电路模式、线条和边缘等特征的精确对齐。FPA-3000 EX4具有很高的准确性、可重复性和吞吐量。该单元采用晶圆级前沿成像技术，提高了对准过程的精度和稳定性。这台机器还提供了非常高分辨率的对准精度和精确补偿暴露条件的变化，设置和样本量。FPA-3000EX4还配备了一种全自动运动控制工具，可以在对准过程中准确定位光掩模和基板。先进的运动控制资产还通过精确控制移动速度和方向来确保高精度对准。自动化模型还配置为提供准确的对齐补偿,从而提高流程精度。CANON FPA-3000 EX4还具有广泛的电源和解码器控制选项,允许用户自定义曝光设置和参数。该设备还配备了用户友好软件，该软件具有广泛的图形用户界面（GUI），使操作和控制更加容易。该系统还提供了广泛的功能，使其成为制造高级光掩模和基板的理想工具。该装置有一个集成曝光机，为各种曝光应用提供晶圆的精确和受控曝光。该工具还提供自动数据计算和存储,从而实现更高效的制造过程。资产还具有多种可选附件,使用户能够根据自己的确切需求定制模型。选项包括显示器系统和精密模式调整硬件等附件,以及自动清洁硬件,使用户能够创建根据其确切要求定制的设备。FPA 3000 EX4是一种用于制造高精度光掩模和基板的功能强大且用途广泛的工具。该系统高度精确的对齐方式,加上其广泛的功能,使其成为各种光掩模、晶圆和光学/MEMS制造过程的宝贵工具。