二手 CANON FPA 3000 EX4 #9359426 待售

CANON FPA 3000 EX4是为精密光刻而设计的高端晶圆步进器。由于它的亚微米精度，它能够在晶片上产生超小的特征尺寸。它配备了先进的4室光学元件和几个对准和计量装置，用于快速对准和精细操作。该设备还集成了高速多轴设备，能够长期稳定运行。装置主体采用铝、钢筋塑料等耐用材料制成，长期使用，最大可靠性。其大型液晶触摸屏允许用户轻松地监控和控制设备。这个晶圆步进器装有一个机器人系统，可以自动处理多个晶圆。CANON FPA-3000EX4还配备了一个集成冷却装置，以帮助保护敏感的光学元件免受加热芯片的影响。该冷却机包括一系列吸热风扇单元、热电百叶窗和一组散热器。它还具有激光干涉测量工具，可以检测和测量透镜表面角度的变化。这确保了光刻工艺的准确性，以更好的对准和成像。步进器能够在一个晶圆曝光周期内执行多个处理步骤。这包括应用抗蚀剂、曝光、晶片硬化和剥离暴露的图样。它具有光束扫描同步控制和可选的曝光时间设置,以进一步优化阵列制作过程。FPA-3000 EX4能够为先进的区域性结构生产微观元件，如薄膜、先进的图样和较小基板上的高分辨率图样。此外,此晶片步进器为研究和设备生产相关应用程序提供动态性能、更高的吞吐量、更高的准确性和降低成本的好处。