二手 CANON FPA 3000 EX5 #9114042 待售

CANON FPA 3000 EX5是一种先进的高性能晶圆步进器，用于制造半导体器件。这种晶片步进器是专门为了在硅晶片和半导体薄膜等基板上建立极精确的图样和结构而设计的。该设备具有5nm的超高分辨率,对于需要制作详细图样和结构的研究人员和科学家来说,它是一个极好的选择。CANON FPA-3000EX5配备了先进的光学器件，特别是高性能浸入式物镜和高NA控制系统，可以精确聚焦光束并确保图样精度。除光学器件外，该单元还装有一台先进的高灵敏度电荷耦合器件（CCD）相机，分辨率为6.2兆像素。这为研究人员提供了一个强大的工具来测量非常高精度的微小特征。该机器还可以配置最多三个独立的曝光头，可用于在单个设置中精确对齐多个晶片。这使得该工具可以在一个步骤中对多个基板进行成像和阵列,从而显着提高吞吐量和成本效益。FPA 3000 EX5利用多种扫描方法来确保每个模式都被精确复制。通过广泛的扫描速度，研究人员可以确保他们充分利用自己的时间。扫描率可以达到100毫米/秒以上，让研究人员提高生产力。资产还提供了在非高斯模式和高斯模式之间的选择，允许他们为自己的特定应用选择最佳方法。FPA-3000EX5还具有多种接口,使用户能够输入数据并远程控制模型。这使用户能够快速轻松地对设备进行编程以满足他们的需求,使其成为高级工业应用的宝贵资源。最后,系统的设计是为了实现长期的可靠性和可重复的准确性,从而确保即使是最小的细节也能得到一致的制作。这些功能已将CANON FPA 3000 EX5牢固地确立为先进、可靠且经济高效的晶圆步进器。