二手 CANON FPA 3000 EX6 #293817785 待售

CANON FPA 3000 EX6是为半导体生产研发而设计的晶圆步进器。它是一种先进的步进器，具有6倍的减速率，提供更高的均匀性和迭加性能，并且能够处理多达300毫米的晶圆。佳能FPA-3000EX6是最新一代的佳能现场验证光刻设备.它是一种突破性的紧凑步进器，能够实现高精度光刻性能。它减少了6倍,可显着提高准确性和统一性。利用这6倍的减小比和更高的迭加对准精度，产生小至1.5 nm的几何缺陷。该系统还具有从365nm到248nm的各种特殊光刻胶曝光波长。FPA 3000 EX6采用专门的掩码成像方法,提供卓越的掩码精度和均匀性。专门的光学单元和无掩码光刻技术提供了尽可能高的精度和均匀性。它还具有先进的高速扫描阶段，可以移动到4mm/sec，并在10秒内精确扫描晶圆。该机器设计为提供最高级别的过程控制,具有许多集成功能和高级过程控制工具。它具有方便用户友好的操作员界面，可进行直观控制。该工具配备了最先进的高度可靠和坚固的Quattro系列软件和过程控制模块。在灵活性方面,FPA-3000EX6可以轻松配置和升级。它通过多次曝光提供了广泛的OPc、迭加、间距和对齐控制,还提供了在各种工作阶段、卡盘和基板对齐选项、字段大小和位置精度方面的灵活性。该资产设计为在清洁室内运行，以尽量减少污染。该型号通风至1万级，可连接惰性气体供应。"Advanced Cooling Equipment（高级冷却设备）"可确保在恶劣的环境中工作时保持正确和稳定的工作温度。佳能FPA 3000 EX6提供无懈可击的工艺性能、灵活性和用户友好操作。它是先进半导体和纳米技术制造商的理想选择。