二手 CANON FPA 3000 i4 #293587251 待售

CANON FPA 3000 i4是一种组合扫描仪、步进器和光刻设备，旨在提供先进、高性能的光刻曝光能力。该系统专为处理涉及高级光学成像和图样的各种应用而量身定制，包括光掩模和晶片的标线和非标线曝光。CANON FPA-3000I4可用于多个行业，包括半导体、生命科学、生物技术和光电子研发。该单元可提供可重复和可靠的结果,并为各种工艺和材料提供卓越的图像质量。为了提高性能,FPA 3000I4采用了最新的成像技术,包括深紫外线佳能ARCOS和矢量扫描支持,可实现高达150 mm/秒的扫描速度。该机采用先进的3轴光级和F-Theta透镜，在整个过程中提供高度精确的对准和聚焦。这样可确保每次曝光时都能精确、准确地将图样暴露在加工材料中。此外,FPA-3000I4还配备了高精度对准工具,可提供± 1 µm的精度,精度指数为0.2µm或更高。FPA 3000 I 4的设计非常可靠,可提供一贯准确稳定的曝光性能。为此,该资产提供了多种功能,可确保整个暴露周期的过程稳定。这包括坚固的真空模型、闭环输送机控制设备、可靠的电源和精密的温度控制系统。该单元还提供了许多用户友好的功能，方便操作。它提供了用于控制图像参数和曝光设置的直观图形用户界面（GUI）。此外,该机器还支持多种数据格式,包括GDSII、OASIS和TIFF。对于精确的光刻曝光,CANON FPA 3000 I 4提供了先进的成像和阵列技术、精确的对齐功能以及用户友好的功能的组合。这使得它成为各种行业的理想解决方桉。