二手 CANON FPA 3000 i4 #293604649 待售
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ID: 293604649
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4是晶圆步进器，一种用于半导体制造的光刻设备。这种步进器利用了强大的syncroscan系统和独特的4束光源，为批量生产提供了卓越的成像性能。该设备具有高吞吐量、出色的覆盖精度和许多其他高级功能。CANON FPA-3000I4步进器配备了4束投影镜头和同步扫描镜扫描仪。该机采用0.5 NA镜头供电，提供卓越的均匀性、小光斑尺寸、高对比度。这样可以打印单梁系统难以实现的小形状。它采用先进的光学和算法,从而实现更快的扫描和成像速度。该工具还具有高精度X-Y级,用于精确定位和可追踪性。该阶段由鲁棒控制算法支持，并确保快速和精确的移动。它可以移动到3000 nm/s。此外,它的分辨率为0.02 nm,实现了比以往更小的特征尺寸和更高的精度。FPA 3000I4还采用微凹凸对准技术，允许平滑的基板放置和快速的对准优化。该资产可配置为容纳尺寸不超过8英寸的晶片,并且能够每小时处理多达16个晶片。该模型附带了一个软件包,该软件包提供了具有直观工作区控制的直观UI。总体而言，FPA 3000 I4是一种非常先进的晶圆步进器，设计时考虑到了批量生产。它提供卓越的成像性能和吞吐量,以及精确的对齐和可追踪性。该设备非常适合寻找可靠、高效的光刻解决方桉的生产设施。
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