二手 CANON FPA 3000 i4 #293605760 待售

CANON FPA 3000 i4是一款用于半导体制造的高端EUV（Extreme Ultra-Violet）光刻扫描仪。它是一种可靠且先进的晶圆步进器，旨在提供高精度的光刻工艺。I4具有双柱结构，由两级扫描平台和高度集成的晶圆处理系统组成。它还利用CANON 'Roll-Scanner'技术。这意味着图像数据在晶圆表面曝光后进行电子注册，从而能够快速准确地传输和注册。佳能FPA-3000I4晶片步进器具有波长为13.5nm的激光源，可以在晶片上更精确、更精确地放置图样。i4还包含了高达12kHz的高重复率，允许在单发中进行大的曝光。i4提供高吞吐量速率,可实现高达400 wpm（晶圆/分钟）的生产力提升。这是由于数据的高重复率和快速传输，以及在两个值班周期之间的准备时间短。晶圆步进器还有一个极好的共振扫描系统，使加速度和振动造成的图样失真最小化。这样可以在器件图样形成中实现高精度。最后采用低热漂移和独立的稳定透镜系统，帮助防止像差和失真。这样可以确保晶片上的图样准确曝光，从而提高半导体器件的产量和成本效益。综上所述，FPA 3000I4晶片步进器是一种先进可靠的光刻机，适用于制造高端半导体器件。