二手 CANON FPA 3000 i4 #293607519 待售
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ID: 293607519
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1994 vintage.
CANON FPA 3000 i4是来自CANON的晶圆步进器，用于半导体製造和测试。该设备具有内置的4轴对准系统，可确保晶片精确对准光照和激光对准。它能够创建低至0.2微米的特征大小,并且最大分辨率高达0.5微米像素。该单元的独特特征之一是NDUV（近紫外线）光源，它既提供长波长（UV-A），又提供短波长（UV-B）照明。这允许对比和锐化图像和精确的测量，即使在使用难以分辨的半导体材料如铜和高k电介质时也是如此。步进器利用先进的扫描机，准确聚焦精细细节，防止图像涂抹。它能够以高达2.3 µm/s的速度扫描，明显快于传统的高端步进器。此外,它还可以支持多种光学元件和镜头,包括NA高达0.5的镜头。该工具可以与几种不同类型的检测设备集成，包括CCD摄像头。此外，它还具有许多环境控制，如温度、湿度和惰性气体，以获得准确和一致的结果。CANON FPA 4000 i4也是可扩展的，并且允许增加各种其他传感器和设备。最后,资产具有多种安全功能,包括防尘、快门控制和自动关机。它还包括操作员健康监测，以确保在洁净室环境中使用安全。佳能FPA-3000I4是一种尖端晶片步进器，能够以高精度和高速度测量和曝光半导体晶片到纳米级。通过其功能和通用平台,它是跨多个行业的IC解决方桉的理想选择。
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