二手 CANON FPA 3000 i4 #9121236 待售

CANON FPA 3000 i4是一种精密晶圆步进器，配备了一系列特性，可以进行高精度、高通量的生产。该设备专为生成高级3D IC、微加工、光学元件和其他高精度应用而设计。CANON FPA-3000I4利用高性能的i-line源进行优化,以产生最佳的均匀性,并选择从4、6和8英寸晶片中选择,最小卡盘尺寸为150 mm,最大为450mm。FPA 3000I4采用获得专利的两步双曲镜系统（TMMS）技术进行设计,该技术允许在整个曝光领域提供出色、均匀的照明。这是由微透镜阵列增强的，该阵列的设计目的是将曝光场限制在必要的尺寸，同时也提高聚焦深度。这确保了接触结果的最大准确性和可重复性。FPA-3000I4还采用专有光学技术，减少像差，消除对准问题。这包括一系列复合对称透镜、偏振分束器、一组棱镜和虹膜组件。这使设备能够有效地维持光路内的像差，并精确控制光的波前误差。这样可以确保晶片在操作过程中的高精度曝光。FPA 3000 I 4还具有模具曝光控制功能,可优化曝光精度以提供每台设备的高质量图像。该设备采用自动晶片处理系统，允许透镜晶片对准和对焦。除此之外，该装置还具有150毫米的卡盘直径，每卡盘负载容量为4kg。这样可以确保设备能够处理各种工业应用。CANON FPA-3000 I 4配备了许可的软件套件,允许用户使用曝光计算、组成和模式生成以及完整的数据分析。该设备还具有板载过程监视器,可进行简单而有意义的曝光数据分析。除此之外，该装置还设计了安全系统，以降低系统受损的风险，并确保平稳运行。CANON FPA 3000I4是一种顶级精密晶圆步进器。它具有多种特性,可确保最高的精度和吞吐量。这包括高性能的i-line源、TMMS Technology、微透镜阵列和减少像差的专有光学技术等功能。此外，它还配备了自动晶片处理、软件套件和车载过程监控器，用于全面数据分析。所有这些功能结合在一起,确保用户能够获得最高质量的结果。