二手 CANON FPA 3000 i4 #9121238 待售

CANON FPA 3000 i4是市场上精度和尺寸能力最高的晶圆步进器。这种全自动设备是一种装有CANON原始技术的光子光刻步进器，如先进的大规模集成（A-LSI）装置及其专有的扫描机制，在其领域提供高性能和可靠性。该系统由一个主单元、一个光学头和一个模式发生器组成。主体为确保稳定性和准确性的重型框架。它还配备了精密进给机构，保证了光头在三个维度上的平稳运动，最佳定位精度的高精度计量单元，快速、高效、精确扫描的圆柱形电机。光头由一阶像差校正镜片机组成，在25 mm的晶圆直径上提供4 nm线宽的卓越图像质量和分辨率。具有加热功能的环境室也是光学头的一部分，以确保最佳的工作条件和稳定的过程。模式发生器是一种投影光学元件，用于将电路模式传递到晶圆上。它配备了双像素芯片，以实现快速的处理速度和测序能力，使工具能够配合各种电路模式和曝光。CANON FPA-3000I4能够提供分辨率高达2.5 μ m的4nm线宽,非常适合各级半导体生产,包括高级封装。其步进技术也适用于印刷、电子等多个行业的较大元件的制造。结合全自动环境和数字化操作,此资产可保证各种应用程序的最高精度和可靠性。