二手 CANON FPA 3000 i4 #9121239 待售

ID: 9121239
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
i-Line stepper, 8" Reticle: 6" I/F: Mark-8 1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4是为先进半导体制造而设计的最先进的晶圆步进器。这种设备能够进行微米精度的晶片对准和成像过程,并生产具有微观小特征的极高精度晶片。此工具具有4卡盘标线级,可自动加载和定位标线以进行成像。步进器可以处理标准和定制的光掩模图样。还包括用于增强成像能力的高速光学系统,以及用于精确位置控制的电动镜头单元。步进器支持多种曝光类型,包括挖沟、掩护和中断拍摄。它还具有增强的摄像机,具有多次曝光,以提高图像分辨率和对比度。此外,更新的波形发生器和控制器使得微调模式更容易。CANON FPA-3000I4的设计旨在有效地将步进器内的颗粒污染降至最低,并在成像过程中减少环境的影响。这确保了最大的产品质量。FPA 3000I4还拥有先进的特征识别软件,自动补偿晶圆形状的差异。无论晶片的曲率如何,这都能确保理想的成像对准。步进器由强大的CPU驱动,并配备高数据带宽和千兆位以太网连接。这样可以在阵列操作期间提供更快的处理时间和更平滑的数据传输。该工具能够在300毫米、200毫米和125毫米晶圆上进行阵列设计。这种多功能性允许生产包含高级设计的各种设备和组件。FPA 3000 I 4已被证明符合最严格的行业标准,并被许多领先厂商广泛采用和信任。它已成为先进的半导体制造中最常用的晶圆步进器,因为它在未来几年提供了可靠、高精度的性能。
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