二手 CANON FPA 3000 i4 #9238727 待售

CANON FPA 3000 i4是为先进半导体制造而设计的高度先进、多级投影对齐器。CANON FPA-3000I4采用最新技术来创建精确的分辨率和对齐20-200纳米组件。其先进的投影光学设备允许2纳米的未校正分辨率，能够精确放置和对准具有挑战性的小型半导体元件，精确度很高。它与板载实时计量系统（RTSM）完全集成,该系统允许对组件进行主动3D对齐和注册。FPA 3000I4具有极高的能源效率。它具有低噪声、静音冷却装置和各种创新照明系统；具有高效卤素、Ar+金属卤化物和I线光源的四束照明机。这样可以确保元件在各种晶圆尺寸和材料上的精确和均匀曝光。坚固而精确的机构能够在各个方向实现高速而精确的移动，提供无与伦比的精度和可重复性。投影头采用了高度精确的阶段补偿工具，结合先进的RTSM和高度精确的光学器件，可以精确放置到20纳米以下的零件。FPA-3000 I 4还提供了一个全自动的应用程序开发环境,用户可以在此环境中开发自定义软件例程,以促进日益高效的半导体过程的推进和开发。最后,CANON FPA 3000I4还提供了重要的运营支持,包括资产可追踪性功能和易于互换的组件,以简化维护和升级。FPA还提供了安全可靠的操作，并便利了用户培训，从而能够更快地进入复杂的光刻操作。