二手 CANON FPA 3000 i4 #9238745 待售

CANON FPA 3000 i4晶片步进器是晶片级光刻应用的理想半导体成像工具。该设备具有4种高度灵敏的投影光学元件,经过优化,可提供卓越的分辨率和高速工艺速度,且失真最小。CANON FPA-3000I4的完美层传输技术特别适合于无掩码光刻应用,可确保精确的晶圆级操作精度和最小的边缘剂量效应。为了确保卓越的图像质量,FPA 3000I4采用40纳米数值孔径光学系统,使用自动测量工具进行自动对准和调整,以及有效的化学大衣,用于防疤痕和防刮擦的基板保护。此外，该单元还采用了先进的照明方法，如全均匀照明，以尽量减少投影模式的变化。刀具的内置过程控制、运动稳定性和过程监控功能都有助于实现产量最大化和成本降低,而其预先批准的过程机器配置消除了过程中的可变性。CANON FPA-3000 I4内置的其他性能增强器是其先进的舞台表面温度控制和轮廓技术,它通过补偿非平坦表面提高了工艺效果。该工具流线型的特点和优越的特性使CANON FPA-3000 I 4成为半导体生产线中的宝贵资产,确保了高吞吐量和优异的光刻效果。利用这一资产，制造商现在可以实现低线端拉回、优异的CD均匀性、高分辨率线型、精确的迭加对齐，所有这些都以最小的剂量面积差异。此外,此工具旨在方便模型扩展和升级,使FPA-3000 I 4成为寻求可靠、经济高效和生产性光刻解决方桉的行业的理想投资。