二手 CANON FPA 3000 i4+ #9256525 待售

CANON FPA 3000 i4+是一种最先进的高容量晶圆步进器，旨在满足先进半导体制造行业的严谨需求。它包括一个超精确的光学设备，用于将光掩模阵列化到晶片上，以及一个多区域自动对准系统，以确保生产批次的准确性和可重复性。该单元提供高达175W的照明功率，适用于复杂的高分辨率成像甚至最复杂的图样。它有两个光学对准阶段，每个阶段由三个轴组成，允许精确的尺寸登记光掩模和晶圆。两个高解析度相机包含微米级扫描解析度。晶片步进机具有超精密、高度可重复的计量系统，其中包括自动扫描以及曝光时晶片和掩模的比较。FPA 3000i4+具有低于100 nm的分辨率成像能力,最佳分辨率为80nm。它利用先进的多区域曝光算法来保证高产率，通过内置的掩蔽迭加进一步增强。随附的光学工具提供高精度和可重复性与最小化色差和像差。它包含一个自动化的晶圆送料资产，高吞吐量和优越的晶圆处理。步进器还具有一个新的最大垂直移动模型,该模型允许最多20 mm的移动,从而在复杂的晶圆几何上实现3D阵列。这种先进的步进器还有一种用于可缩小缩放的先进启发式设备，可以实现百万分之一的缺陷等级。它具有直观的用户界面,能够进行自定义编程控制,以及用于故障排除和监视的远程访问选项。CANON FPA 3000 i4+专为可扩展性而设计,并提供可升级功能,以适应不断变化的制造技术和需求。它与广泛的基材兼容，可以处理直径从200毫米到450mm不等的晶片。它是满足晶圆加工要求的高效可靠的解决方桉。