二手 CANON FPA 3000 i4 #9361809 待售

CANON FPA 3000 i4晶片步进器是一种用于精密半导体生产的高分辨率高速光刻设备。它设计用于处理4英寸和更大的半导体晶圆，最大分辨率为0.25 µm。它还能够高效地高速暴露大面积的标线，使其成为大批量生产的理想选择。该系统基于使用扫描步进器精确移动晶圆的预对准级。它可以配置两种镜头：0.6 NA镜头或0.7 NA镜头。这提供了更高的分辨率和图像质量,使掩模制造商能够在各自的领域保持竞争力。佳能FPA-3000I4还有一个用于精确和可重复对准的自动对焦单元。此功能可确保每个蒙版正确对齐,并且曝光过程始终准确无误。自动对焦机还有助于减少停机时间,因为它可以在曝光前快速高效地设置每个掩模。步进器还包括改进对比度和高吞吐量的先进成像工具。此资产包括一个先进的数字图像处理器,它通过校正渐变和模煳以及减少与校正镜片像差相关的开销来帮助最大限度地提高吞吐量。它还具有先进的降噪算法来减少残余图像噪声量。FPA 3000I4还集成到各种后端过程中，如自动清洗和曝光后烘烤。步进器有两个高扭矩晶片旋转器，自动旋转晶片并提供精确且可重复的清洗。该模型还有一个曝光后烘焙站，可以精确控制温度和湿度，并确保特征大小在多次运行中保持一致。最后，步进器包括一个先进的数据收集和分析设备，可以存储和分析从多达25,000晶圆的结果。这使系统能够监测生产趋势，及时发现任何异常或缺陷，并优化工艺参数和配方以提高产量。总体而言,CANON FPA-3000 I 4是一种可靠且高效的晶圆步进器,旨在满足要求最苛刻的半导体光刻和电子产品生产要求。它能够生产远低于0.25 µm的特征尺寸,是高分辨率成像和大批量生产的绝佳选择。