二手 CANON FPA 3000 i4 #9384534 待售
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ID: 9384534
优质的: 2000
i-Line stepper
Reticle, 6"
EWS: 715/100
X-Terminal console
A/F Type-6: Right
W/F Size: 8"
PA Type: Flat
Library 12-Slot
Option: PPC
Cassette type: NIKON
Mount: Passive damper
BB Halogen lamp
Illuminatior: 2 kW
RASCO TBW-CD-83 Clean chamber
Lens edge distortion: U Lens
MO Drive
With CF Type
PCB and P/S Missing
Wafer stage:
Type: Air bearing
ZYGO Laser interfermeter
Chuck type: Pin
Image rack:
Part number / Description
BG4-6632 / TV Image CPU
BG4-9715 / ADP PCB
BG9-4084 / ACC1 PCB
BG9-4085 / ACC2 PCB
BG4-9716 / IMP2 PCB
BG4-6582 / HRD Processor PCB
VME Rack:
Part number / Description
BG4-6628 / Cam unit
BG4-6626 / Main CPU PCB
BG4-8817 / M-RGEN
BG4-6631 / CD I/F PCB
BG4-6629 / X, Y Stage CPU PCB
BG4-8818 / S-RGEN
BG4-6456 / Stage DSP
BG4-6465 / Measurement PCB (X)
BG4-6466 / Measurement PCB (Y)
BG4-6467 / Measurement PCB (Θ)
BG4-6457 / X, Y Pre PCB
BG4-6459 / OFCD IF PCB
BG4-6460 / PIEZO Analog PCB
BG4-5459 / PIEZO Drive PCB
BG4-6603 / CCD OPTF CAP2 PCB
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i4是一种先进高效的晶圆步进器，利用紫外投影光学设备和现代光刻技术，将光掩模精确地图样到晶圆上。此高级设备具有多种功能,可最大限度地减少缺陷,最大限度地提高流程吞吐量,并提供快速吞吐量,从而缩短总处理时间,从而提高设备产量。步进器利用镜头元件与先进扫描仪的组合，达到尽可能高的精度水平。镜头元件为设备提供了高达0.72的数值光圈，并提供了从1到4的最先进的衰减比。步进器还能够处理正反比和负反比类型,以及在高光强度和低光强度下实现图样迭加。该设备具有改进的光学系统,可提供小功能,如线端边缘,以及成像场上的大偏振、扁平和均匀性。而且，它具有半放牧的发生率，提高了透镜的光利用率，显着减少了光掩模的重迭。这使得该设备适合广泛的光掩模，甚至更复杂的图桉。CANON FPA-3000I4配备了模式对准系统，使其能够准确处理帧和现场成像。两种模式对准系统分别用于帧和场成像。框架对齐单元可以通过比较三个点来对齐整个框架，而场对齐机可以识别出与框架对齐工具相比较小的特征。该设备还提供了一系列用于标线扫描、偏转和聚焦的选项，包括高效矩形扫描光学器件、高性能偏转器光学器件和高精度自动对焦光学器件。这些功能共同使设备能够处理具有较大公差和高精度的各种模式。FPA 3000I4还提供了一个强大的光刻工艺，这是一个重要的特点，因为光刻是器件的核心。设备中使用的风冷灯产生深紫外线，在光掩模上形成图桉，有助于降低出现缺陷的风险。此外,还可以高效更换这些灯,而无需调整或调整其他光学元件。总体而言,FPA-3000 I 4是一种先进的晶圆步进器,它提供一系列功能,可提高流程效率、减少停机时间和加快吞吐量。它利用一系列光刻和图样对齐技术来创建高精度图样,并具有许多有助于降低缺陷风险和提高设备产量的功能。
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