二手 CANON FPA 3000 i4 #9402495 待售

CANON FPA 3000 i4是一种5轴晶圆步进器件，设计用于半导体制造和研究的先进光刻应用。它具有独特的线性加速度/减速机构以及9轴运动设备,用于3D场校正,使其能够在光学光刻应用中提供最高分辨率。集成成像电路和内置光学系统确保晶片级的精确对准，从而提高吞吐量和可靠性。CANON FPA-3000I4的自动对准单元使用两组自动对准传感器来实现掩模和晶圆级之间的快速、精确对准。本机采用激光偏转器和激光信号接口进行适当的镜头定位和光束对准。此外，这种工具能够处理各种各样的晶片类型，提供步进编程的专门知识和增强晶片性能；两者均可用于图案化晶圆的制造。此外,FPA 3000I4还配备了5倍还原扫描仪,可实现更精确和更高分辨率的成像。其紧凑的设计最大限度地减少了操作空间，减少了振动，提高了精度。此外,FPA-3000 I4捕获和保存模式的速度比传统的掩码写入步进器快20倍。它还提供了一流的光刻操作，如曝光、显示和模式优化。CANON FPA 3000I4先进的冷却资产确保了适当的热管理,提供了稳定的操作环境。该模型还具有先进的监控功能，如基于晶圆条件检测、测量和调整温度的动态温度校正系统。通过利用其自适应曝光指导，用户即使在具有挑战性的光刻应用中也能获得最高的产量。FPA 3000 I 4也符合多个行业标准，如SEMI E-170和SEMI E-182，支持接受/拒绝排序。CANON FPA 3000 I 4是用于半导体制造和研究的理想设备,因为它为用户提供了一个用于阵列晶圆制造的先进平台。它为固定掩模、大批量生产和LED光刻应用提供了精确、灵敏度、速度和效率。凭借其直观的控制和一流的功能集，这款晶圆步进器为用户提供了推进其半导体生产需求所需的所有必要设备。