二手 CANON FPA 3000 i5 #293606923 待售

CANON FPA 3000 i5晶片步进器是一种先进的光刻设备，设计用于生产高质量的光掩模和晶片。该系统采用高功率可变数值光圈（NA）投影镜头，舞台精度可调，结构复杂，过程控制出色。该单元采用集成的高动态范围（HDR）成像技术,在片上功能方面提供了更详细的信息,从而提高了复杂电路布局的屈服率。该机具有5轴机动化的多向对准级和强大的对焦控制器，用于精确的对焦控制。CANON FPA 3000I5还提供无与伦比的处理速度,扫描速度高达900um/s。这及其高NA可确保高吞吐量,并使该工具非常适合大批量生产运行。其先进的步进控制器提供了更好的过程控制和增强的自动化能力。该资产还能够生产分辨率高达125 nm的高精度口罩。FPA-3000 I5还提供各种高级功能,例如特征识别、对齐和注册技术。自动化功能使模型能够在单个操作中快速检测并准确地将多个特征放置在光掩码上。内置的缩放和平移功能提供了更详细的精度级别。该设备还可与亮场、暗场、显微镜等先进检测系统配合使用，以确保高质量、高精度。FPA 3000I5是一个高度可定制的系统,可以轻松定制以满足用户的需求。它拥有广泛的兼容附件和软件应用程序，提供了集成到各种流程和系统中的能力。该设备可靠,性能卓越,是光掩模生产的理想选择。