二手 CANON FPA 3000 i5 #293607520 待售
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ID: 293607520
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5是一种高性能、光学处理器，用于生产大型集成电路。它是一种最先进的晶圆步进器，旨在生产具有卓越精度、精度和速度的大型集成电路（LSIC）。这台机器的特点是其5轴扫描设备、高分辨率5 µm光学器件以及6秒的快速扫描速度。它配备了视觉控制系统技术，该技术集成了视觉单元组件，使组件能够精确对准和放置在晶圆上。CANON FPA 3000I5由一个通用平台组成,它提供一组基本组件,如光学、电子、驱动单元和视觉系统。光学元件包括Lumicron L i5-L3照明器、Magnicon L i5-H3、蔡司Kg-10i5透镜、Oriel L7-E3、Lumenatech和模块化照明器。这些光学器件可实现高精度成像、高分辨率检查和极快的扫描。电子包括高速数字处理和控制机器，提供最大精度和控制。驱动单元由大功率步进电机组成,驱动机械单元进行扫描和定位,提供平稳、准确的处理。视觉软件允许对晶圆内的组件进行高级检查和对齐。FPA-3000 I5适用于许多大批量生产过程和应用。该工具具有高精度的5 µm光学器件，图像偏移和失真小于1 µm，高速扫描6秒，高精度对准IC生产。FPA 3000I5可以处理各种尺寸的晶片，包括200毫米、250毫米、300毫米和450毫米。它还实现了高精度的硅片处理，具有可变的覆盖精度和吞吐量性能。以其革命性的技术，这种晶片步进器是复杂的IC生产应用的理想选择。
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