二手 CANON FPA 3000 i5 #293615951 待售

CANON FPA 3000 i5是为半导体生产而设计的晶圆步进器。它能够测量和生产包括芯片和MEMS在内的各种组件。步进器融合了广泛的先进技术，包括i线、氟化k（KrF）准分子激光器和高度精确的放大级。该设备能够生产缺陷最小的高质量元件，是大批量生产的理想选择。CANON FPA 3000I5配备了i-line准分子激光器，方便高速晶圆切割。这项技术允许每小时高达1500个晶圆的快速高效曝光。此外，使用KrF准分子激光器可以获得更高的曝光结果和更小的线宽。步进器还将高精度放大级与增加曝光均匀性的机制结合在一起。这项技术允许精确可靠的晶圆级曝光。除了高曝光能力外,FPA-3000 I5还配备了先进的Z轴,可实现高精度和精确的步进性能。该装置还配备了广泛的自动化能力，用于高效和高速生产。此外,它还采用动态自动对焦（DAF）技术来确保组件的统一集成和提高吞吐量。这项技术还可以实现快速曝光镜头变化和减少口罩对准时间。此外，佳能FPA-3000 I5有一个高精度的曝光控制器，确保稳定和高效的过程结果。该装置配有先进的热管理系统，可调节和监测晶圆的环境，保持温度和湿度水平稳定。这项技术有助于保持高处理晶片质量并防止暴露错误。FPA 3000I5是一种可靠、高效的步进器，适用于广泛的元件生产。它具有先进的能力和最先进的自动化技术,使其成为大批量生产的理想选择,并以最佳的产量利用更高效的流程。其高精度的曝光控制器确保稳定可靠的性能,而先进的热管理系统则有助于保持高质量的结果。