二手 CANON FPA 3000 i5 #293615952 待售

CANON FPA 3000 i5是一种具有高端光学性能的全场晶片步进器，用于跨多种技术的先进晶片处理。它旨在提供高精度晶圆图样和检查能力，提供高达每小时200个晶圆的输出。CANON FPA 3000I5具有500万像素步进头,具有1到1像素间距和95 nm分辨率,使其能够实现极其精确的图像放置和对齐。它配备了两台高速、可动态重新配置的步进电机，确保了快速准确的晶圆定位和对准。FPA采用快速、高通量的光学系统,包括五个镜头和一个6位机动化镜像阵列,可提供多种模式尺寸和模拟分辨率规格的高分辨率成像。它可以加工从GaAs、Si、SOI到石英和先进的有机光伏材料的一系列材料。FPA-3000 I5配备了一个集成的晶圆级传感器，用于晶圆边缘对准和低功率近距离感测。它还配备了嵌入式暗场图像捕获机制，用于先进的晶圆检测，使晶圆表面检查能够嵌入步进模式操作中。此外,步进器可支持多达四条用于模拟目标定位的PI曲线,从而实现自动特征对齐。CANON FPA-3000 I5采用1000级洁净室环境进行设计,以确保最高的可靠性和操作稳定性。可选择一个亚环境干室，以进一步提高晶圆的平整度和减少微粒污染。步进器附有直观的使用者介面，让许多晶圆运算可以轻鬆设定，并以最小的使用者干预来调整。FPA 3000I5是一种高效可靠的晶圆步进器，具有高精度和精确度，吞吐量快。无论您的目标是提高设备制造过程的产量和性能,还是开发最先进的光电材料,FPA 3000 i5都是满足您需求的理想系统。