二手 CANON FPA 3000 i5 #293615953 待售

CANON FPA 3000 i5是一种晶圆步进器，旨在为先进的半导体应用提供卓越的性能。它利用光学、光刻和运动控制技术方面的最新创新，以产生比传统光刻方法更小、更精确的特征。CANON FPA 3000I5具有精确对齐的步进级,由高性能语音线圈电机和精密钨线形编码器驱动。这样可以对基板和镜片进行高度精确的定位,并具有出色的可重复性。步进器能够处理大范围的基板和透镜尺寸。借助FPA-3000 I5,用户可以通过选择可选的镜头组件、可调节高度的步进级和额外的镜头来调整微光刻设置,以适应直径可达800毫米的大磁场尺寸。步进器还具有高分辨率对准设备，使用户能够在系统运行前精确对准镜头和基板。该单元还可以检查光刻工艺每个步骤的对准精度。步进器提供了广泛的照明系统，包括传统的弧光灯和先进的i-line和KrF ArF准分子激光器。这使用户能够受益于更高的吞吐量、更好的图像分辨率和改进的生产过程。CANON FPA-3000 I5配备了多种晶圆处理工具，如晶圆盒式装载机和机器人基板处理机。它还具有先进的内置自动维护功能，如自清洁。步进器提供先进的光刻软件套件，带有控制器、模式对齐、布局验证、微观检查、工艺优化以及运动控制的软件工具。用户友好的界面提供了对这些特性和功能的轻松访问。此外,FPA 3000 i5还使用户能够访问各种独特的功能,如自动晶圆识别和鉴定、数据记录和分析以及温度控制。该工具提供了一系列全面的报告和统计数据，以确保最佳性能。FPA 3000I5是一种坚固可靠的晶圆步进器，旨在优于半导体行业的竞争技术。凭借其先进的技术和能力，该资产提供了优于传统光刻技术的性能和更高的吞吐量。