二手 CANON FPA 3000 i5+ #293625346 待售

CANON FPA 3000 i5+是一种用于半导体制造和成像应用的最先进的晶圆步进器。它基于一个新的高接受率（HAR）技术平台,在吞吐量、现场规模、成本和用户灵活性方面改进了传统晶圆步进器。步进器具有双柱龙门结构设计,可减少振动和占用空间。它可以实现高达1.1纳米的扫描模式精度，并确保晶片在100毫米-500毫米范围内的精确对准，以实现均匀的照明和高产率的加工晶片。该系统还集成了双层地图校正机制，用于校正交替相移掩码（PSM）和二进制掩码斑点的失真。这样可以减少迭加误差,并将复杂设备的生产成本降至最低。步进器在扫描模式下的吞吐量高达每小时65个晶圆，在扫描+队列模式下其i5+四核处理器和Image Logic Control Suite软件的吞吐量高达每小时85个晶圆。其光学机械设计可实现高达0.2nm的高精度聚焦校正,从而获得高质量的表面光洁度。CANON FPA 3000I5+还吹捧了一系列先进的功能，如增强的加载和清洁、用于卓越成像的光学功能以及用于操作员方便和保护的安全功能。其空调工作空间和先进的空气管理，以及改进的技术特点，使得低成本和低噪音的操作成为可能。此外,它还包含一系列连接选项,例如远程图像采集、OPC和MES支持以及系统监控。这提供了与现有晶圆厂生产线和系统的直接集成,从而提高了系统的效率并确保了成本节约。总之，FPA-3000 I5+是一种先进的晶圆步进器，功能强大，设计紧凑。它采用最新的HAR技术,提供高吞吐量、高准确性和高产量,并提供灵活的选项和连接,以实现与现有系统的无缝集成。由于其先进的特点，这种步进器是一个可靠的工具，高质量的半导体制造和成像。