二手 CANON FPA 3000 i5+ #293815249 待售

CANON FPA 3000 i5+是一种先进的扫描步进器，旨在提供高端曝光系统，用于生产无掩模光刻系统。它旨在以无与伦比的精度、精度和速度实现曝光。CANON FPA 3000I5+利用一种光学设备，利用一种称为栅格阵列曝光面罩的光栅，在舞台上提供更精确和均匀的曝光。这种光栅由一系列周期性间隔的微观模式组成，使高清图像能够精确投影到曝光阶段，而不会出现模煳或失真。该系统使用两台干涉测量扫描仪（IMS），这有助于确保暴露在曝光阶段的掩模定位的准确性。这一点尤其重要，因为即使是最轻微的位置错误也会导致正在生产的成品设备出现重大缺陷。有两种扫描模式,使设备能够满足不同类型的设备制造需求。FPA-3000 I5+还采用了先进的投影和无掩模制图技术，如获得专利的介电膜掩模制图机，大大提高了设备生产过程生命周期中曝光和再现一致性的准确性。这是通过控制投影遮罩的导光区域的电荷状态来完成的，允许更精确和一致的图像投影。此外,高级投影光学器件允许使用更大的扫描字段,这有助于减少给定任务所需的曝光时间,这对于大批量生产过程至关重要。FPA 3000i5+的设计具有高度的灵活性和可扩展性,这意味着它可以最好地适应设备制造过程中不断变化的需求。此外,它还设计为在很少或没有停机的情况下连续运行,同时在人口最稠密的表面上提供精确、精确、可重复的曝光。此外，它是高度可定制的，使其能够适应几乎任何可以想象的半导体生产过程。从晶圆级到元件级系统，FPA 3000I5+被设计为提供无与伦比的性能、精度和速度。