二手 CANON FPA 3000 i5+ #293817803 待售

CANON FPA 3000 i5+晶圆步进器是一种先进的光学光刻设备，设计用于半导体基板上非常精细的元件的生产级制造。它利用高端步进器以亚微米分辨率细化图案基板。CANON FPA 3000I5+具有很高的重复性和精度水平，确保了非常小基板的一致和准确的加工。FPA-3000 I5+利用了一系列先进的光刻技术,包括用于曝光精度的步进重复工艺、用于提高图像稳定性的镜像辅助成像（MAI）以及用于微调膜的专利抗性涂层技术。该系统还配备了与高精度镜头单元配对的大功率氙气闪光灯，提供了最大的光照强度和边到边的清晰度和均匀性。CANON FPA 3000 I5++附加了控制软件、用于基板映射的高精度边缘轮廓传感器（EPS）、覆盖广泛曝光领域的尖端可变间距转换镜头、护膜技术和温度控制以获得最佳性能等多项功能。FPA 3000i5+设计为模块化,可轻松配置以满足特定的应用程序需求,如大批量生产需求或专门的原型设计需求。晶片步进器还允许客户配置其芯片堆栈,以确保高分辨率成像和快速吞吐量时间。CANON FPA-3000 I5+提供了极好的加工灵活性，包括基板到基板和步进和重复方法。其精密的光刻技术还确保了优秀的薄膜均匀性，确保了产品质量的一致性。此外,机器的高级控制工具、计算机辅助诊断和全面的服务功能使其成为满足大批量生产运行或定制原型设计需求的理想解决方桉。