二手 CANON FPA 3000 i5+ #293827690 待售

CANON FPA 3000 i5+是用于制造半导体器件和集成电路的先进晶圆步进器。这种设备具有一系列特点和优点，包括：高分辨率对准系统，可确保每一个模具的精确和可重复对准。不断保持样品平面度、提供更精确聚焦而无需用户调整的自动聚焦功能；另外一个2轴旋转阶段可以更好地控制暴露剂量和剂量均匀性；以及支持高通量应用的高功率8波长激光器。CANON FPA 3000I5+还可以受益于非常快的采样和步进重复速度，最大控制器抖动仅为10皮秒。随着设备内部温度波动的减少，FPA-3000 I5+能够在多个晶片上保持暴露剂量一致和均匀。通过防止模具因样品变形而失准,提高了工艺可靠性.超精密曝光单元还可以实现更好的模模一致性和更高的生产率。FPA 3000i5+还具有可选的XY级,可用于其他过程控制功能。这个XY级采用高性能、密封轴承型，提供精确定位和稳定性。它还可以支持使用自旋主设备，允许更先进的过程控制技术，如光刻胶图样偏差评估、增强精度对准、曝光剂量测试等。CANON FPA-3000 I5+还有一个集成的可移动托盘设计，允许快速的作业转换和晶圆加载。它捕获每批所需的所有必要信息,如曝光设置、结果和曝光前配方。使用双显示器触摸面板,操作员可以同时监视流程状态、当前曝光和配方设置。最后，CANON FPA 3000 I5++是为超精密过程控制而构建的高性能晶圆步进器。3000i5+具有高分辨率对准机、自动对焦和8波长激光器，在高通量应用中具有精确的曝光和可重复的效果。通过结合XY级和直观的刀具设计，确保了半导体器件和集成电路的可靠和准确的生产。