二手 CANON FPA 3000 i5+ #293829393 待售

CANON FPA 3000 i5+是一种紧凑、多级场光刻步进器，分辨率高达0.2 μ m。它被设计用于向众多晶圆基板的高精度模式转移，直径从5毫米到200毫米半导体器件不等。步进器利用一系列镜子、透镜和滤镜，利用紫外线在晶片上产生图样。该装置基于五级设计，主级一台，独立四台。每个阶段都配有一个静态和动态镜像，配置用于电动XY控制。该设备能够在一次运行中对几个晶片进行精确、可重复的对准和曝光,而停机时间最短。它还提供了一个内置的电动校准系统，以实现一致和准确的曝光时间。步进器可配备一系列镜头，包括CANON FPA-3003 I-5+，一种分辨率为0.2 μ m的高分辨率非球面镜头。该单元还可以配置一个可调的图像字段，允许各种尺寸范围的图桉的最佳曝光。步进器与多种成像工具兼容，如自动基准、多对齐传感器和空浮Z-Axis相机系统。它还提供了多种精度和可重复性特征,从+/-0.1 μ m步进重复到+/-5 μ m任意移位移动。此外,步进器还支持直径最大为十英寸的统一晶片安装,提供自动基板交换机,并配备自动定位工具,以便更轻松地更换基板。资产还支持一系列传感器，包括自动测量、线沿检测和对比度增强传感器。步进器还结合了热控制和控制整个设备温度的减振模型，使其保持在+3至+20°C的范围内。它还提供了一个扫描仪系统，可以跟踪分辨率为0.2 μ m的物体或点。这些特性允许高精度的模式传输和可重复性。总体而言，CANON FPA 3000I5+是一种高度通用的多级场光刻单元，具有可调图像场和一系列传感器。它被设计用于向无数种不同晶片基板的高精度模式转移，适用于半导体器件生产中的多种应用。