二手 CANON FPA 3000 i5+ #9065380 待售

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ID: 9065380
Stepper Currently deinstalled and stored in cleanroom 2001 vintage.
CANON FPA 3000 i5+是一种高性能晶圆步进器,旨在为80毫米、100毫米和200毫米晶圆提供高效、精确的曝光。它配备了最新的成像光学和先进的技术,以确保高精度图样的可靠生产。CANON FPA 3000I5+比其他晶片步进器型号高出一个档次-被称为世界上最先进的晶片步进器。步进器由智能控制逻辑提供动力,可以精确放置模式,提高系统生产率。它还配备了先进的SmartView虹膜,用于高速扫描和查看功能。此外,它的磁场平整透镜有助于减轻在大型晶片(如200毫米晶片)上执行时残留的图像失真。FPA-3000 I5+具有许多令人印象深刻的功能,在晶圆预对准和后对准曝光方面具有卓越的精度。其双光学系统提供两个晶片的同时曝光,增加了生产时间的并行化。晶圆步进器还具有超高数值孔径(UHNA)光学设计,可将分辨率降至0.10微米。这样可以确保足够的精确度来挑战具有极端图像质量的电路结构。此外,FPA 3000I5+具有可选的边缘扫描仪,它与虹膜配合工作,可自动检测晶片边缘,同时优化识别精度。最后,该步进器具有佳能独有的自动光掩码处理(APP),可完全控制对准后曝光。使用APP模块,用户可以轻松插入、控制和检查各种晶圆吞吐量配置的光掩码。在求和上,FPA 3000 i5+是目前最先进的晶圆步进器。其双光学系统、UHNA光学和边缘扫描仪提供了卓越的精度和成像能力,确保了高精度图样的可靠生产。此外,它的APP模块为用户提供了对齐后曝光的完全控制。通过利用CANON FPA-3000 I5+的这些功能,用户可以期待80毫米、100毫米和200毫米晶圆的高效和精确曝光。
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