二手 CANON FPA 3000 i5 #9068403 待售
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ID: 9068403
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5是一种精密晶圆步进器，设计用于高性能光刻和先进的微加工。CANON FPA 3000I5具有800mm x 800mm的现场尺寸,是一种先进的光学成像设备,能够产生高达80nm分辨率的高精度图样。该系统配备了多种硬件和软件功能，包括已安装的Source Deuterium（ISDe）激光源、增强型系列掩模更换器、新设计的舞台放大器和定制开发的控制软件。该设备还具有高达4K fps的成像性能和用于精确扫描的电动定位器MP-1400,以及用于直接查看图像的高分辨率2 MP显示器。FPA-3000 I5设计用于先进的光刻工艺,如MEMS、半导体和生物制造工艺。它具有高分辨率的成像功能,可以提高准确性、提高产量以及提高吞吐量。其整合式源氘（ISDe）激光源允许光谱较宽的光源，在光刻过程中提供更大的深度和灵活性。新的系列蒙版更换器能够处理多个曝光源和蒙版,在处理过程中提供更高的准确性和更大的灵活性。佳能FPA-3000 I5还包括改进级振荡和扫描的增强型电动机和控制算法,以及新设计的级放大器,可提高精度和更快的测量时间。该机器还包括一个定制开发的控制软件，提供灵活性和稳定性，以及改进的用户友好性。这样可以确保更好的结果和更准确的测量,同时最大限度地减少停机时间。FPA 3000 i5采用模块化体系结构进行设计,在应对不同的应用程序挑战时可实现更大的通用性和灵活性。它配备了开放式框架，更容易与其他系统集成。FPA 3000I5是实现高分辨率阵列的理想工具,具有最高的精度和精确度。
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