二手 CANON FPA 3000 i5 #9086289 待售

CANON FPA 3000 i5晶片步进器是一种精密对准设备，旨在提高吞吐量，满足下一代设备制造和晶片生产的严格要求。该系统采用五轴四镜扫描光学单元，在光刻过程中实现高精度、高精度的重复性。CANON FPA 3000I5 Wafer Stepper能够以高精度处理高达4"或6"的晶片。此外，该机还利用先进的光刻软件实现晶圆对准和晶圆曝光过程的自动化。FPA-3000 I5 Wafer Stepper具有一系列光学和机械特性,旨在在晶圆处理过程中提供准确性和多功能性。机电执行器提供精确的机械运动,使工具能够产生高质量的图像和最小的对准误差。另外，两组激光模式识别相机为光刻应用提供了高分辨率的图像采集和数据输入。该资产还采用先进的对准算法，在光刻过程中精确对准晶圆，正确调整曝光参数。CANON FPA-3000 I5 Wafer Stepper还配备了先进的光学型号，包括高精度成像镜头和高分辨率变焦镜头，允许精确的焦距调整和曝光阶段之间的聚焦匹配。这样可以确保持续的高曝光精度,并确保在曝光过程中具有高度的可重复性。步进器还利用一种专利曝光设备，将曝光和扫描集成在一个统一的曝光程序中。FPA 3000 i5晶片步进器集成了一个全面的诊断系统。该自动化单元提供各种高级功能，包括静态图像模式评估、动态图像模式评估、激光图像模式对准、性能评估和曝光参数自动调整。此外,以前流程中存储和存档的数据可用于在需要时提供快速高效的流程反馈。最后,FPA 3000I5 Wafer Stepper还具有一系列用户友好的功能,这些功能旨在减少操作员的工作量并提高效率。完全集成的控件可确保正确控制和优化曝光和扫描过程,而直观的用户界面可轻松访问各种曝光和扫描参数。此外,该机器与CANON激光图像处理软件兼容,允许高级曝光和扫描规则配置、数据分析和报告生成。总而言之,CANON FPA 3000 i5晶片步进器是一种可靠且功能强大的工具,旨在满足最新设备制造和晶片生产过程的严格要求。