二手 CANON FPA 3000 i5 #9194604 待售
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ID: 9194604
优质的: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5是为最先进的半导体应用而设计的高性能晶圆步进器。这台尖端机器采用了一种独特的创新技术，称为改进分辨率图像计量（IRIM），与其他晶圆步进器相比，其光学性能提高了25%。它具有非常高分辨率的成像设备,可提供最准确的检查和检查结果。CANON FPA 3000I5使用高功率5 kW二极管激光器来创建晶圆表面的图像，能够以5微米的分辨率进行扫描。IRIM系统使用激光干涉仪测量晶圆的表面轮廓，并提供1微米深度轮廓的精确测量。这是通过使用衍射光学元件（DOE）将图像分成四个截面来实现的，然后可以由IRIM单元进行分析以获得最高精度。机器还使用自动对焦选项来确保检查的尽可能高的准确性。FPA-3000 I5拥有业界领先的精密对准工具,可提供全方位的精确度,以确保检查结果的最高质量。资产配备高速旋转级，确保对准与1微米以内一致，同时也保持1.1微米的精度。它还包括一个能够驱动多达12个轴的高精度驱动模型，提供半导体行业中最高质量的晶圆对准。该设备还包括多种先进的测量工具，如获得专利的基于USB的粒子分析系统、高科技的空气动力学天平，以及用于小颗粒去除的功能强大的散热器装置。实时数据收集单元允许连续的数据和图形分析，给用户洞察他们的晶圆的条件和性能。佳能FPA-3000 I5是市场上最先进的晶圆步进器之一，提供了令人印象深刻的准确性和检验结果。这台机器的光学性能提高了25%,为当今复杂的半导体工艺提供了最佳的精度。它是寻求最高精度和结果的半导体公司的宝贵工具。
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