二手 CANON FPA 3000 i5+ #9258600 待售
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已售出
ID: 9258600
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Stepper, 8"
PC Model: EWS B180L
Wafer standard: JEIDA
Wafer type: Notch
Reticle type: 6"
Material: Quartz
Changer type: HITACHI
Case type: HITACHI
Optical system:
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
NA: 0.63~0.45
Screen size: 6"
Illumination system:
Ultra-high pressure mercury lamp 2.0 kW
σ: 0.7~0.3
Estimate exposure light control
(4) Independent blades
Wafer loader type: Notch, 8"
Wafer holder type: Notch, 8" TIO2
Wafer / Reticle alignment:
Clear vision field image processing
Wafer alignment:
Alignment light: HeNe Laser / Broad band
Mode: AGA
Reticle alignment:
Alignment light: i-Line
XY Stage:
3-Axes laser interferometer
Stroke:
X: 115mm ~ -115mm
YX: 115mm ~ -115mm
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i5+晶片步进器是CANON生产的用于高端光刻操作的先进步骤和重复设备。该系统被列为光刻行业顶尖的光刻系统之一。它是一个完全集成的集成平台，由基本组件组成：i5扫描仪、镜头、标线和成像板。i5扫描仪位于设备的核心。它的工作速度比以前的标准扫描仪快两倍，而且非常精确。这款扫描仪还配备了CANON高级iMO（智能多级优化）技术，为需要高剂量均匀性和图像平整度的高级曝光应用提供高度可靠的解决方桉。CANON FPA 3000I5+中的镜头是一种场展平镜头，旨在修正聚焦影像中的像差。这样可以确保图像更好的分辨率和一致性。标线为九片类型，旨在同时减少幽灵像差和改善图像对比度。最后，将成像板与i5扫描仪和镜头机集成在一起，以提供稳定、准确的图像传输机制。这种成像板是专门为高端光刻应用而设计的，确保由标线产生的图样保持对原始设计的忠实。总体而言，FPA-3000 I5+晶片步进器是一种先进的步骤和重复工具，为晶片光刻解决方桉提供了可靠的平台。凭借其最先进的组件,此资产可为用户提供尽可能高的图像保真度和超高剂量一致性。因此，该模型适用于微电子、光电等精密光刻操作。
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