二手 CANON FPA 3000 i5+ #9296955 待售

CANON FPA 3000 i5+是一种晶圆步进器，旨在以高度精确的方式曝光高达300 mm的晶圆。它具有200毫米片上镜头（LOC）模块，应用领域为36mm，以5纳米分辨率提供高精度曝光。步进器能够处理从6英寸到300毫米的广泛生产，包括LED、MEMS和其他光电应用。配备3级设备对准自动对焦机构，为晶圆对准提供亚微米精度。此外，内部曝光监视器还记录每次曝光时的曝光值，为跟踪系统性能提供了可靠的手段。配备激光干涉仪光束对准单元，CANON FPA 3000I5+能够精确对准每一个曝光镜头。此外,步进器还具有无传感器对齐机,可在每个字段上高效对齐多个模具。此工具还提供通过或沟槽对准能力进行钻探的能力。总体而言,FPA-3000 I5+提高了解决暴露的能力、准确性和可靠性。步进器还提供各种光学和电气维护选项。这些包括灯控制板、准直器板、反馈放大器板、电源板、冷却剂配电板和快门控制板。除了这些选项之外，该资产还设计用于保护晶片免受暴露和加工造成的潜在损害。这是通过使用带有反馈机制和过度剂量保护器的过度暴露控制以及错误检测机制来实现的。FPA 3000 I5++的设计考虑到维护的最小化,每臂总共只有18个部件,而晶圆步进器通常需要25-45个部件。此外,步进器还具有较低的拥有成本以及长期性能的声誉。以精密光学而闻名的CANON还开发了行业领先的3微米或以下的对准精度，以及平均每小时166晶圆的生产模型。总体而言，CANON FPA 3000 I5++是一种高度可靠和精确的晶片步进器，设计用于生产各种光电生产应用的高质量晶片。FPA 3000 i5+强大的设计、性能增强的系统和选项,以及低拥有成本,旨在为用户提供可靠、精确的生产需求解决方桉。