二手 CANON FPA 3000 iW #155018 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 155018
Wafer stepper
Configuration:
Main Unit: FPA-3000
Illuminator: FPA-3000 I line
(2) A Scope (left and right): i-line, TTL
Reticle Stage: 6", Canon STD
(2) Reticle Sender (switching): Canon STD
U-Lens
B Scope: OFF-Axis
C Scope: OFF-Axis
Laser Head: Zygo, HeNe
CCD OPTF
OA Scope: OFF-Axis
Wafer Stage: Flat Stage
(3) Θ/Z-Tilt Unit (L, M, R): Piezo
(4) Support Mount: Passive Damper
Filter (XY Stage): HEPA
Reticle Changer
Reticle Robot: Type IV
Cassette Robot: Type IV
(14) Cassette Library: Canon STD
(4) Intermediate Library: Canon STD
PPC
Wafer Feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: 8", Notch
SH: Type-VI-R
Lamp house, 2KW
EWS HP-9000 (712/100)
UPS
CD-80 chamber
(5) HEPA ceiling filter (air)
Power receive box, 3 phase, 200VAC
D-rack: Canon STD
Currently in a warehouse
Can be inspected.
CANON FPA 3000 iW是设计用于半导体制造的自动化晶圆步进器。该装置独特的设计使其能够在生产线上精确对齐单个晶片，确保晶片加工的最佳产量和准确性。CANON FPA 3000IW配备了独特的运输设备，采用伺服电机系统来精确定位和调节晶圆。该单元可用于创建通过生产线的自定义路径,从而实现更高质量的生产。该单元每个循环最多可容纳24个晶圆，负载能力高达500磅/晶圆。FPA-3000IW利用先进的Opto-Laser对准机准确检测和识别每个晶圆的方向。通过将这一技术与伺服电动机工具相结合，装置可以提高精度地精确地重新定位晶片。该资产还能够检测晶片表面的错位和轻微的不规则性，从而在处理易碎晶片时实现更高的精度和完整性。该机组独特的光学传输模式进一步优化了生产运行。该装置还具有快速跟踪技术，可提高生产能力，从而实现高效可靠的晶圆加工。FPA 3000IW还具有一些优化晶圆生产性能的附加组件。该机组装有气动操作的X-Y晶片卡盘，以提高稳定性和精度。精密的空气轴承级允许晶片在加工过程中的精确运动。此外,该设备还具有由直接驱动高速风扇启用的温度控制环境。温度控制环境有助于减少晶圆污染和热变形。晶片检查、校准和蚀刻系统等其他高级功能确保每个晶片的处理达到最高标准。FPA-3000 IW是一种强大而高效的晶片步进器，非常适合需要精确可靠晶片加工的生产线。利用先进的对准、光学传输和温度控制技术，该装置能够始终如一地准确生产生产质量的晶片。佳能FPA-3000IW具有高速性能、快速跟踪设备和各种传感器及附件,是任何需要精确、可靠和高质量晶圆处理的操作的理想解决方桉。
还没有评论