二手 CANON FPA 3000 iW #293606922 待售

CANON FPA 3000 iW是专门为光掩模製造和检验而设计的最先进的晶圆步进器。它配备了一个WaferStepper™，一个机械臂，控制整个光学设备的扫描运动。CANON FPA 3000IW利用先进的光学元件,包括充氮低相干干涉测量（LCCI）技术,实现卓越的成像性能和样品对样品的均匀性。这种干涉系统为样品提供了稳定的背景、精确的聚焦和最佳的照明。该装置有两种光源：一种是Argon-Ion激光器，一种是卤素灯，另一种是光学组件，包括一台10倍显微镜和一台图像旋转机和一个自动变焦镜头。FPA-3000IW还具有智能成像和测量软件,可实现可重复的结果、用于过程验证的自动文档生成以及对光学掩码上的微观特征的快速实时评估。这是集成通信接口的补充,集成通信接口可直接连接CAD设计和输出到掩码布局编辑器。CANON FPA 3000I W能够快速准确地测量电子束直写掩码、电子束光刻掩码和薄膜STL掩码的超小型特性，与大多数标准掩码布局兼容。它集成了滤波器轮和自动聚焦功能,使其成为一个强大可靠的成像平台,可实现高级掩模功能。CANON FPA-3000 IW是生产环境中的理想主力，其高吞吐量和亚微米分辨率以及检测缺陷的能力相结合。CANON FPA-3000IW具有快速的成像和处理时间以及易于使用的自动化能力,非常适合用于口罩制造和半导体生产。