二手 CANON FPA 3000 iW #9151772 待售

ID: 9151772
Fine pattern aligner Parts unit.
CANON FPA 3000 iW是具有卓越性能和可靠性的最先进的晶圆步进器。这种晶圆步进器用于半导体器件的製造,包括光刻工艺,并设计为高精度和精确度。它能够达到100 nm的分辨率,并具有0.33NA的照明设备。CANON FPA 3000IW晶片步进器是一种先进的设备,旨在提供生产就绪的光刻工艺。此设备能够执行单曝光和双曝光过程,以及步进重复和群集工具。它具有100 nm的超短曝光点直径。这种高度紧凑的系统设计独特,以优化空间利用率。FPA-3000IW还具有提供三轴同步和快速沉降时间的舞台设计。这使得每个模具都能精确对准。它还有一个经过优化的级冷却器装置,即使在不断变化的条件下也能确保过程的稳定性。还包括一个内置的主动对齐机,以确保光刻场的高精度对齐。内置的FPA图像投影光学器件设计用于在衍射受限透镜中在一定范围的T上提供清晰的图像生成。它还提供了就地模式注册。此外,先进的照明工具被设计成对曝光区域进行精确的相等照明。CANON FPA-3000 IW具有强大的设计,具有高度的可靠性和正常运行时间。它提供了一种基于软件的资产,用于检测和纠正故障和其他错误。此外,它还采用了允许灵活集成不同操作系统和高速数据传输的设计。最后,FPA 3000I W晶片步进器是一种用于制造半导体器件的先进器件。它具有0.33NA的照明模型和100 nm的超短曝光点直径,能够实现高精度和高精度。它具有优化的级冷却器设备和主动对准系统.此外,这种装置具有强大的设计,是非常可靠的,并提供了一个有效的单位进行光刻工艺。
还没有评论