二手 CANON FPA 3000 MR #293817802 待售

CANON FPA 3000 MR是CANON为先进半导体应用开发的一种精密晶圆步进器，作为其FAB系列的一部分。晶片步进器是专门为满足先进光刻技术的挑战而设计的,包括对越来越小的特性的要求、更快的吞吐量和更高的精度。FPA 3000 MR能够同时暴露多个晶片上的解离层，对准精度为0.40微米，聚焦深度高达0.5微米。此外,CANON FPA 3000 MR还采用了CANON专有的多焦点驱动机制,即使在极端温度变化的情况下也能提供快速、精细的曝光。这样可以确保出色的对比度,并允许各种曝光形状和尺寸。晶片步进器具有增强的高通量聚焦控制设备，利用时空噪声分析在曝光序列过程中优化焦点。FPA 3000 MR还提供了两种先进的光学系统，包括能实现更高分辨率和更小归一化重迭的High NA（数值孔径）系统，以及用于暴露密集图桉的无反向散射和多栈单元。CANON FPA 3000 MR的分辨率范围可高达75 nm,可容纳的晶圆尺寸为175 mm （8英寸）。这种步进器还得益于佳能着名的精密控制技术及其无与伦比的工艺传感精度。它提供环境保护，还可以与各种材料、形状和尺寸以及各种化学工艺一起使用，使其成为广泛行业的理想选择。此外,FPA 3000 MR具有集成的可追踪性机器,为质量评估和过程分析提供了宝贵的数据。佳能独特的先进晶圆处理技术，结合快速、精确的对准工具，保证了高吞吐量、稳健的过程控制和全面的可追踪性。总体而言,CANON FPA 3000 MR是来自CANON的高级、高度通用和精确的晶圆步进器,非常适合要求高精度、更快吞吐量、极端温度变化和高对比度成像的行业。