二手 CANON FPA 3000 #293828112 待售

CANON FPA 3000是为高级IC检测和光刻而设计的晶圆步进器。它配备了一个双级、高精度的机动化标线级，旨在提高吞吐量，提高精度，减少振动。CANON FPA-3000的高性能光学设备采用六透镜设计，用于校正昏迷、场曲率、色差和失真等像差，以提高成像性能和打印精度。晶片步进器使用内置的自动对齐器来检测模具特征并对齐晶片。对齐器能够检测到小至四分之一微米分辨率的特征，而自动对齐功能可以用来对齐晶片，精度高达50 nm。此外，晶圆步进器还具有内置的迭加系统，以确保晶圆表面的精确跟踪。FPA 3000每次射击最多可打印六个目标,具体取决于晶圆的大小。打印分辨率高达10 nm，步进器配有波长可调激光二极管，旨在保持一致的曝光强度，确保优化的对准性能。为了减少振动，FPA-3000配备了阻尼振动台和集成隔离单元。这台台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式台式晶片步进器还具有专利的超低F值-3物镜，通过最小化由于内部透镜反射引起的像差来提高精度。CANON FPA 3000能够打印各种曝光波长，从深紫外线（DUV）到可见（VIS）。它配备了一个内置的激光功率计，用于精确的曝光测量和控制。晶圆步进器还包括几种嵌入式检查应用，包括临界尺寸（CD）测量、缺陷审查和模式分析，以及一个后光刻图像分析算法库。总体而言，CANON FPA-3000晶片步进器是一种强大的光刻机，可用于先进的IC检测和光刻。其先进的特点包括双级、高精度的电动标线级、优化印刷精度的自动对准、波长可调谐激光二极管以及几种嵌入式检测应用。FPA 3000旨在实现精确的打印结果，其内置的激光功率计确保精确的曝光控制。