二手 CANON FPA 3000 #9145279 待售

CANON FPA 3000是CANON Inc.设计的晶圆步进器件，用于硅片的超精确光刻。它具有非常精确的照明设备、先进的对准和精确的搅拌系统以及专有的软件单元。这种先进的晶片步进器能够以最小的占地面积和最低的成本生产出质量最高的晶片。CANON FPA-3000拥有经过优化的6轴X/Y/Z/ θ/z/F架构机，产生极精确的结果，位移分辨率为0.1 µm。步进器还具有独特的专有抗振工具,可确保极高的精度。这使它能够以较低的拥有成本创造更好的性能。在其光学资产方面，FPA 3000具有先进类型的激光器、光学复制发生器和独特的替代标线。这种特性的组合，确保thestepper可以精确地对齐蒙版的基板。此外，genlock模型还提供了非常精确的光学结果，即使在大颗粒、薄基板和其他复杂表面上操作也是如此。在精密搅拌设备方面，FPA-3000采用了电子搅拌和声学搅拌相结合的溷合系统，以确保得到的晶片始终完美对齐。步进器还具有特殊的高性能对齐工具，用于提供快速、精确的对齐。CANON FPA 3000还有一个特殊的软件单元，确保设备尽可能高效。它旨在识别晶圆尺寸和布局模式的最有效组合。因此,它可以降低设置成本、缩短周期时间并减少停机时间。佳能FPA-3000是一种真正先进的晶圆步进器，能够产生卓越的效果。它可靠、高效，经过严格测试，确保准确可靠。它是以最低成本生产最优质晶片的理想工具。