二手 CANON FPA 3000 #9145280 待售

CANON FPA 3000是一种先进的晶圆步进器，旨在创建半导体制造的高精度模式。佳能FPA-3000具有高吞吐量、精确对准和强大的成像技术,是生产任何半导体的理想工具。FPA 3000通过其自动光束对准（ABA）技术提供了无与伦比的高架视图光学成像。该设备使用专有软件算法来指导扫描仪，从而提高了吞吐量和更精确的掩码放置。ABA还通过全场自动聚焦系统（AF）提供自动聚焦。该单元最大限度地减少焦平面变化，显着减少焦点偏移，从而降低先进半导体器件的图像质量。FPA-3000还配备了自动校准机（ACS）。ACS使用三维纳米探针传感器来精确控制像位置和对比度这样的成像参数。这样可以实现高度均匀的曝光,保持多层图像质量。此外,它还可以纠正透镜像差引起的高频对准误差,以及动态频率变化,以匹配具有高对比度成像需求的图层。CANON FPA 3000还具有高分辨率色彩校正超高对比度面罩（CHCM）功能。CHCM利用专门的掩模技术,即使在具有挑战性的先进半导体结构上也能显着降低线缘粗糙度并保持高精度成像。此外,佳能FPA-3000还配备了光学密度控制机构（ODCM）,可根据所蚀刻的材料调整光源的强度。这会产生高度均匀的图桉深度,并有助于产生高产、高性能的影像。最后,FPA 3000提供详细的在线技术支持,以帮助用户充分利用其功能。直观的用户界面允许轻松访问许多功能，简化了机器的设置和运行过程。总的来说，FPA-3000是一个强大的晶圆步进，可以创建精细，精确的光刻图样，速度和方便。它具有先进的成像和自动对焦功能,是要求先进成像性能的高级半导体制造商的理想选择。