二手 CANON FPA 3000 #9145281 待售

CANON FPA 3000是一种高性能、多功能的晶圆步进器，能够处理广泛的生产需求。该设备旨在提高吞吐量和降低制造成本,同时保持高精度和精确度。CANON FPA-3000采用模块化设计,将主要组件组装成单个框架。它利用先进的透镜系统和四级衍射头组件创造出更高水平的光学性能。该单元能够基于晶格的图样，还可以提供离轴照明，进一步提高分辨率和精度。这使得理论上无限数量的特征能够被阵列化到柔性基板上。步进器能够处理各种晶圆尺寸，从125mm到650mm不等。其最大精度为0.1微米，时速高达65晶圆。步进器还能够以14微米步进/重复精度精确光刻。这是由一台集成对准机支持的，可信分辨率为3微米，活动面积为1.9毫米x 1.9毫米。FPA 3000进一步配备了完整的高端功能，包括内置的旋转级、可编程的标线滑轨和基于CCD的对准工具。FPA-3000设计为高度可靠和坚固。它具有使用寿命长的LED光源、先进的空气冲洗等功能，旨在减少停机时间，延长关键部件的使用寿命。它还围绕一个与洁净室兼容的存储模块进行设计,以保护其内部组件免受任何潜在污染物的侵害,并确保最佳性能。集成控制器支持CANON FPA 3000的精确运行，提供了一个用户友好的图形界面，方便快速操作。控制器还提供日志记录和诊断功能,并且能够远程操作。综上所述,佳能FPA-3000是一种功能强大且可靠的晶圆步进器,旨在满足广泛的生产需求。其先进的镜头资产、高精度、坚固的构造使其成为精确光刻和提高生产率的绝佳选择。