二手 CANON FPA 3000 #9152188 待售

CANON FPA 3000是一种用于半导体制造的高性能、经济高效的步进器。该装置具有较高的吞吐量，能够减少缺陷和提高产量。它支持一系列技术，从3D堆叠芯片和嵌入式光刻到低k介电材料和多层掩蔽。CANON FPA-3000的核心是一种全自动步进器，它可以使用激光束将有图样的曝光传递到基板上。它使用独特的高动态分辨率（HDR）系统,可提供高速、高分辨率的图样图像,用于超快速、无工件的蚀刻。该设备具有高精度、高吞吐量和高稳定性。FPA 3000的拥有成本很低,而且针对特定的客户需求,还提供了广泛的优化功能和先进技术。该设备可与客户需求和缩放几何形状集成,例如用于大容量生产SOI（绝缘体硅）晶片的复杂屏蔽技术,以及其他具有挑战性的应用。FPA-3000具有独特的多模式分割曝光方法（MPSE）,可以容纳具有不同类型光学元件或标线的复杂模式。这使得它在3D集成芯片生产中特别有用。此外,其图像改进系统（IIS）提供了可靠的无缺陷功能,这对于大批量生产至关重要。CANON FPA 3000还有多种降低系统使用寿命运营成本的方法。通过使用不需要频繁更换的激光束,其消耗性成本保持较低,而由于其紧凑型紫外线（CUV）技术大大降低了常规维护要求,其维护要求保持较低。综上所述,CANON FPA-3000步进器提供高性能、经济高效以及一系列先进技术,使其成为大容量半导体生产的一个有吸引力的解决方桉。该设备具有高精度、高吞吐量和高稳定性,无论小生产线还是大生产线都能受益。它还内置了MPSE和IIS等功能，可以提高整体产量。此外,它的低拥有成本和最低的维护要求使其成为半导体行业的一个有吸引力的选择。