二手 CANON FPA 3000 #9384377 待售

CANON FPA 3000是为高级光刻工艺而设计的高性能晶圆步进器。这台机器在半导体工业中被广泛用于制造显微镜下的小芯片，以及用于光学薄膜和光掩模的生产。它能够处理直径可达450mm、曝光面积可达375mm的晶片。CANON FPA-3000配备了使用专有晶体镜系统和光学列车的先进成像设备。这样可以确保成像过程精确准确。它还利用高精度电机移动聚焦透镜和镜面，进一步提高精度。该机器能够执行各种各样的过程。这些包括蚀刻、光刻涂层、成像和视觉检查。它还能够进行多曝光光刻工艺。这台机器还配备了识别多种图样图像的能力，可以进行亚微米和纳米成像。该单元利用专有软件程序来控制与每个进程相关的曝光、对齐、分析和报告作业。该软件还可用于访问设备参数，从而可以精确控制每个流程。此外,该软件还可用于执行维护任务,例如清洁、校准和预防性维护。FPA 3000还提供了更好的安全和环境保护。可配备灭火机、紧急关机、高压测试工具等内置安全功能，确保人员和设备安全。它还具有温度控制的干蚀刻资产，以减少有害物质排放。总体而言，FPA-3000是一种高度先进的晶圆步进器，旨在实现最佳性能，并用于半导体工业中的光刻工艺。它提供了更高的准确性和安全性，以及各种工艺选择。这使得它成为制造微观小型电子元件的理想选择。