二手 CANON FPA 5000 AS2 #136492 待售

CANON FPA 5000 AS2是用于半导体制造的晶圆步进器（又称曝光工具）。它是CANON电子束技术家族的一部分，是微芯片行业光刻工具的领导者。FPA 5000 AS2是一种顶级工具,能够满足原型和生产晶圆的需求,提高了生产效率和卓越的图像质量。CANON FPA 5000 AS2的曝光能力设计用于步进和重复以及连续晶圆步进过程。其曝光技术包括扫描电子束（SEB）和飞行点曝光两种方法。Flying Spot曝光法使用静态电子束和镜头设备的移动投影，以高精度、高精度提供高通量。FPA 5000 AS2上的曝光系统配备了自动对准装置，可大大加快处理时间，同时确保对准精度。自动对齐机使用自动对齐标记检测工具,以防止晶圆未对齐或扭曲晶圆可能导致的图样不对齐。CANON FPA 5000 AS2的光束位置控制资产通过其自动模式跟踪模型提供了更大的灵活性。该设备可以使用外部反馈信号跟踪模式并进行校正。此外，FPA 5000 AS2的光束监测和控制系统能够在整个制造过程中保持预定的光束参数。CANON FPA 5000 AS2的大扫描尺寸和高分辨率成像能力使其能够产生具有可接受的图像保真度级别的图像,用于广泛的晶圆制造。它的高分辨率成像也保证了图像显示出优越的对比度和清晰度。FPA 5000 AS2的低能晶片材料弱点被刀具的低能SEB系统和低SEB腔室电压最小化。低SEB腔室电压确保基板的热感应应力最小化，从而保持了器件规格和屈服。该FPA-5000包括一个配方归档单元,允许客户访问和存储设置配方。此功能允许客户自定义配方文件以更好地满足他们的需求。CANON FPA 5000 AS2也可以使用pseudo-O2代替O2。由于取消了中间步骤,Pseudo-O2减少了总处理时间。此外,FPA 5000 AS2还包括多级标线交换功能。由于同时加载和卸载标线,这减少了周期时间。总体而言,CANON FPA 5000 AS2晶片步进器是满足原型和生产晶片需求的顶级工具。其特点提供了卓越的图像保真度、低能晶圆材料的脆弱性、提高的生产率和提高的对准精度。