二手 CANON FPA 5000 ES #9200127 待售

CANON FPA 5000 ES是一种前沿光刻晶片步进器，旨在使制造商能够准确高效地生产半导体器件。它具有5微米的分辨率，使它能够产生高分辨率的线/空间特性，宽度低至0.25微米。这使得它适合制造大容量和先进的半导体器件。FPA 5000 ES的外部尺寸为2710 x 1750 x 1625 mm，标准场尺寸为50.8 x 50.8 mm。步进器的电源是行业标准的AC100/AC200电压范围,具有可选的DC/AC300电源升级功能。CANON FPA 5000 ES具有利用0°、90°和277°的场角覆盖全50.8 mm场区的三镜头设计。4.0倍的光学放大倍率使步进器具有最大的聚焦深度和较高的图像高度精度。FPA 5000 ES使用三级远心照明设备,可精确放置光刻特征而不会出现耀斑。全场区域的光照强度和均匀性均可调节，便于制作出优化的光刻图桉。CANON FPA 5000 ES以其多投影成像系统，可以同时暴露多种场大小，同时保持场对场曝光的高均匀性。还可以根据平版印刷作业在不同时间曝光不同大小的字段。除了其标准特性外，FPA 5000 ES还有一个可选的FPD模块（平板显示器）用于玻璃的光刻。该模块允许以高精度的平面模式曝光，从而能够制造结构小巧尖锐的半导体器件。CANON FPA 5000 ES是一种强大的晶圆步进器，以其卓越的分辨率和与多光刻系统的兼容性而着称。其节能操作模式、先进的照明单元和Multi-Projection成像机使其成为生产高容量、高质量半导体器件的卓越工具。